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技术与装备

技术创新 知识产权 承担项目

晶粒晶向控制技术

晶粒的大小、排列方向直接决定了溅射成膜的均匀性和溅射速度,影响下游产品的品质和性能,因此,晶粒晶向的控制是溅射靶材生产过程中的核心技术。公司拥有金属材料塑性变形加工生产线及内部组织结构检测设备,通过科学的工艺安排,能够对晶粒晶向实施精确的控制。

高纯金属纯度控制及提纯技术

由于金属材料中的杂质会影响半导体芯片等下游产品的导电性能,因此,溅射靶材对金属材料的纯度提出了相当高的要求。公司通过自主研发和合作开发,已经具备生产超高纯度的溅射靶材用金属材料的技术能力,大大提升企业的市场竞争力。

由于金属材料中的杂质会影响半导体芯片等下游产品的导电性能,因此,溅射靶材对金属材料的纯度提出了相当高的要求。公司通过自主研发和合作开发,已经具备生产超高纯度的溅射靶材用金属材料的技术能力,大大提升企业的市场竞争力。

异种金属大面积焊接技术

焊接技术是将靶坯与背板牢固地焊接在一起的技术,公司拥有扩散焊接、电子束焊接、钎焊等不同焊接方式的完整产线和先进技术,产品平均焊接结合率可达99%以上,可满足不同客户多样化的需求。

其中,公司通过多年自主研发,已掌握了Al、 Ti、Ta、Cu等不同靶材和不同背板材料的大尺寸、高结合率和高强度的扩散焊接技术,多项扩散焊接技术已达到国际领先水平

高纯金属纯度控制及提纯技术

由于金属材料中的杂质会影响半导体芯片等下游产品的导电性能,因此,溅射靶材对金属材料的纯度提出了相当高的要求。公司通过自主研发和合作开发,已经具备生产超高纯度的溅射靶材用金属材料的技术能力,大大提升企业的市场竞争力。

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异种金属大面积焊接技术

焊接技术是将靶坯与背板牢固地焊接在一起的技术,公司拥有扩散焊接、电子束焊接、钎焊等不同焊接方式的完整产线和先进技术,产品平均焊接结合率可达99%以上,可满足不同客户多样化的需求。

其中,公司通过多年自主研发,已掌握了Al、 Ti、Ta、Cu等不同靶材和不同背板材料的大尺寸、高结合率和高强度的扩散焊接技术,多项扩散焊接技术已达到国际领先水平

高纯金属纯度控制及提纯技术

由于金属材料中的杂质会影响半导体芯片等下游产品的导电性能,因此,溅射靶材对金属材料的纯度提出了相当高的要求。公司通过自主研发和合作开发,已经具备生产超高纯度的溅射靶材用金属材料的技术能力,大大提升企业的市场竞争力。

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